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        半导体制程(支撑)材料

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        三氟碘甲烷 CAS号:2314-97-8 半导体蚀刻材料

        更新时间:2020-07-04 点击数:1126

        三氟碘甲烷,又称三氟甲基碘,分子式为CF3I,分子量为195.91。三氟碘甲烷为无色无味气体,无毒、阻燃、油溶性和材料相容性好,是传统氟利昂制冷剂的替代品之一,具有灭火效率高,安全性能好,经济效益高等特点。三氟碘甲烷作为半导体刻蚀气体,与同种刻蚀气体CF4、C4F6相比,蚀刻时具有更高的选择性和高深宽比。

        产品指标

        产品用途:

        三氟碘甲烷可用作半导体刻蚀气体、电气设备绝缘与灭弧气体、灭火剂、制冷剂等。此外,三氟碘甲烷还能与有机金属试剂作用,是有机合成中引入氟代甲基的重要含氟中间体,可广泛应用于有机合成、生物化学、农药、医药、表面活性剂和染料等领域。        

        包装、贮存:

        三氟碘甲烷充装在钢质无缝气瓶中,钢瓶容积分别为10L、47L、400 L,具体包装规格可根据用户需求定制更改。三氟碘甲烷储存干阴凉、干燥、通风良好的库房,远离火种、热源。库温不宜超过30℃,储区应备有泄漏应急处理设备。



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