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        电子特气行业发展

        更新时间:2020-12-24 点击数:480

               电子特气广泛应用于半导体、微电子和相关的太阳能电池等高科技产业,或用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗,或用作载气、保护气氛等等。由于半导体和微电子技术向更高性能、更高集成度发展,对电子特气的纯度提出了越来越高的要求,电子特气的的净化愈加关键和重要。国内的超高纯度净化技术主要依赖进口,自身的技术水准(6N)与国际先进水平(8-9N)有较大差距。国内知名项目将设计和研发一系列高效、高容量、高选择性、低成本的新型纳米净化剂,对MO源、惰性气体、氢化物气体、反应性气体、腐蚀性气体等5个系列,50多种电子特气进行末端净化,使电子特气纯度由ppm级提高到ppb、ppt级,并将特气传输和控制系统对气体纯度的影响降至最小,从而极大地改善工艺能力,降低产品缺陷, 提高制程的产量,满足下一代半导体、微电子以及相关高技术发展的需要。重山光电将形成有自主知识产权的超高纯度电子特气净化技术,解决超高纯度电子特气净化这一核心技术的国产化问题。

               从全球市场上来看,美国空气化工集团、法国液化空气集团、日本大阳日酸株式会社、美国普莱克斯集团、德国林德集团前5大企业占据了90%以上的市场份额。而在中国市场,5大巨头同样占据近90%市场份额,垄断格局明显。

              重山光电材料股份有限公司目前量产四氟化锗、二氟化氙、三氟化氯、三氟碘甲烷、三氟化氮、四氟化锗、四氟化钛、四氟化硅、六氟化钨、六氟化钼、全氟丁二烯等含氟高纯电子特气。


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